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CAAC-IGZO 채널을 적용한 3D NAND Flash cell 공정 조건 연구

제목
CAAC-IGZO 채널을 적용한 3D NAND Flash cell 공정 조건 연구
저자
송윤흡
발행일
2021-06-30
학회명
2021년 대한전자공학회 하계종합학술대회

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