상세 보기
Thin Film Encapsulation using SiOx/SiNxOy multilayer structures via Low-Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
- 제목
- Thin Film Encapsulation using SiOx/SiNxOy multilayer structures via Low-Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2020-11-23
- 학회명
- 2020년 한국세라믹학회 추계학술대회