ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

SF6/Ar 플라즈마를 사용한 캐퍼시터 전극용 백금 박막의 식각 특성

제목
SF6/Ar 플라즈마를 사용한 캐퍼시터 전극용 백금 박막의 식각 특성
저자
안진호
발행일
2001-11-02
학회명
001년도 한국재료학회 추계 학술발표강연
개최지
고려대학교

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.