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MoO2 Film Fabrication Via Atomic Layer Deposition with Mo(IV) Precursor and Oxygen and Ozone reactant for DRAM Applications
- 제목
- MoO2 Film Fabrication Via Atomic Layer Deposition with Mo(IV) Precursor and Oxygen and Ozone reactant for DRAM Applications
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2024-01-26
- 학회명
- KCS 2024
- 개최지
- 경주화백컨벤션센터