직응집법을 이용한 질화규소 실형상 성형공정기술에 관한 연구

초록

본 연구에서는 최근 복잡 정밀한 세라믹체를 효율적으로 성형할 수 있는 새로운 공정기법으로 부각되는 직응집성형법 공정을 이용하여 다양한 공정환경 조건에서 질화규소 성형공정 기술을 연구하였다. 직응집성형법의 기초요소기술을 확립하기 위해 질화규소의 계면특성과 유동학적 거동을 이용하여 수계분산시스템에서 Si3N4 성형공정에 미치는 공정환경변수를 연구하였다. 분산시스템에서 열분해 특성을 이용한 응집시스템으로의 전환에 따른 입자간의 응력변화를 관찰하였다. 입자의 재배열 및 이에 따른 성형 미세 구조를 관찰하였다.