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Modulating ALD Molybdenum Oxide Film Properties for DRAM Application through Controlled Oxidants and H2 Annealing with Mo(NMe2 )4 Precursor
- 제목
- Modulating ALD Molybdenum Oxide Film Properties for DRAM Application through Controlled Oxidants and H2 Annealing with Mo(NMe2 )4 Precursor
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2023-11-22
- 학회명
- KISM 2023
- 개최지
- 부산 해운대