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Improved Performance of ITZO TFT with Stacked High-k ZrO2/SiO2 Gate Insulator in Nanoscale by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
- 제목
- Improved Performance of ITZO TFT with Stacked High-k ZrO2/SiO2 Gate Insulator in Nanoscale by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2021-01-28
- 학회명
- 제 28회 한국반도체 학술대회