ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

Silicon on nothing 공정을 이용한 MEMS 절대압 압력센서 modeling

제목
Silicon on nothing 공정을 이용한 MEMS 절대압 압력센서 modeling
저자
송윤흡
발행일
2015-06-23
학회명
2015 대한전자공학회 하계종합학술대회
개최지
제주 라마다 호텔

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.