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Study of Slurry pH and Oxidizer on Ge-doped SbTe for High Speed PRAM CMP

  • 박재근
제목
Study of Slurry pH and Oxidizer on Ge-doped SbTe for High Speed PRAM CMP
저자
박재근
발행일
2013-11-07
학회명
2013년도 학국재료학회 추계학술대회 및 제 25회 신소재 심포지엄
개최지
롯데호텔제주

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