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SiO2/Si3N4/SiO2 와 Si3N4/SiO2 /Si3N4 터널장벽을 사용한 금속실리사이드 나노입자 비휘발성 메모리소자의 열적 안정성에 관한 연구

  • 김은규
제목
SiO2/Si3N4/SiO2 와 Si3N4/SiO2 /Si3N4 터널장벽을 사용한 금속실리사이드 나노입자 비휘발성 메모리소자의 열적 안정성에 관한 연구
저자
김은규
발행일
2010-02-18
학회명
제38회 한국진공학회 동계학술대회
개최지
현대성우리조트

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