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Multilayer absorber phase shift mask using platinum for high numerical aperture extreme ultraviolet
- 제목
- Multilayer absorber phase shift mask using platinum for high numerical aperture extreme ultraviolet
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2019-09-16
- 학회명
- 2019 EUVL symposium
- 개최지
- Monterey, California, USA