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SiC/SiNX 복합층을 열처리에 의하여 형성된 SiC 나노입자의 광학적 성질

  • 김태환
제목
SiC/SiNX 복합층을 열처리에 의하여 형성된 SiC 나노입자의 광학적 성질
저자
김태환
발행일
2013-02-19
학회명
제 44회 한국진공학회
개최지
보광휘닉스파크 (강원도 평창)

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