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Optimizing In2O3 Thin Film Transistor Performance on Polyimide Substrate via Atmospheric Pressure Spatial ALD
- 제목
- Optimizing In2O3 Thin Film Transistor Performance on Polyimide Substrate via Atmospheric Pressure Spatial ALD
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2023-11-22
- 학회명
- KISM 2023
- 개최지
- 부산 해운대