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Oxidant effect of La(NO3)3·6H2O solution on the HfO2 thin films grown by atomic layer deposition
- 제목
- Oxidant effect of La(NO3)3·6H2O solution on the HfO2 thin films grown by atomic layer deposition
- 저자
- 안진호
- 발행일
- 2018-07-11
- 학회명
- NANO KOREA 2018
- 개최지
- 경기도 일산 킨텍스