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수소 플라즈마 환경에서의 CNT 펠리클 life-time 향상을 위한 SiNx 내화학 피막 연구

제목
수소 플라즈마 환경에서의 CNT 펠리클 life-time 향상을 위한 SiNx 내화학 피막 연구
저자
안진호
발행일
2025-02-13
학회명
The 32th Korean Conference on Semiconductors
개최지
강원도 하이원리조트

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