X선 반사율 측정법을 이용한 극자외선 리소그래피용 마스크 구조체 물질의 광학상수계산

제목
X선 반사율 측정법을 이용한 극자외선 리소그래피용 마스크 구조체 물질의 광학상수계산
저자
안진호
발행일
2013-04-12
학회명
제2회 차세대 리소그라피 학술대회
개최지
한국