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ECR 플라즈마를 사용한 백금 박막의 식각 매카니즘에 관한 연구

제목
ECR 플라즈마를 사용한 백금 박막의 식각 매카니즘에 관한 연구
저자
안진호
발행일
2001-11-09
학회명
2001년도 한국마이크로전자 및 패키징 학회 추계 기술 심포지움
개최지
한양대학교

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