Performance Optimization of Tellurium Thin-Film Transistors via Thermal ALD Al2O3 Deposition Temperature Control

제목
Performance Optimization of Tellurium Thin-Film Transistors via Thermal ALD Al2O3 Deposition Temperature Control
저자
박진성
발행일
2025-08-20
학회명
IMID2025
개최지
부산 벡스코