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유도결합 플라즈마(ICP)를 이용한 Er 첨가된 광도파막 식각 특성 연구

제목
유도결합 플라즈마(ICP)를 이용한 Er 첨가된 광도파막 식각 특성 연구
저자
신동욱
발행일
2004-04-16
학회명
한국 세라믹 학회
개최지
고려대학교

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