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Copper Oxide Decorated Silica Nanoparticles for Tungsten Chemical Mechanical Planarization
- 제목
- Copper Oxide Decorated Silica Nanoparticles for Tungsten Chemical Mechanical Planarization
- 저자
- 백운규
- 발행일
- 2019-11-13
- 학회명
- 2019 한국세라믹학회 추계학술대회
- 개최지
- Seoul, Korea