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나노 세리아 슬러리를 이용한 STI CMP에서 나노토포그라피 시뮬레이션

제목
나노 세리아 슬러리를 이용한 STI CMP에서 나노토포그라피 시뮬레이션
저자
백운규
발행일
2004-07-09
학회명
한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회
개최지
용평리조트

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