ScholarWorks@한양대학교

상세 보기

La(NO3)3∙6H2O 용액을 이용하여 ALD 법으로 증착한 HfO2 박막의 특성

제목
La(NO3)3∙6H2O 용액을 이용하여 ALD 법으로 증착한 HfO2 박막의 특성
저자
안진호
발행일
2018-04-20
학회명
한국반도체디스플레이기술학회 2018년 춘계학술대회
개최지
대전광역시 유성구 가정북로 156 한국기계연구원

ScholarWorks@한양대학교

(04763) 서울특별시 성동구 왕십리로 222 Tel. +82-2-2220-1370 +82-2-2220-1366

COPYRIGHT © 한양대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.