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Cu 패드 설계 변수에 따른 Cu–SiO2 하이브리드 본딩 단차 제어 특성 분석

제목
Cu 패드 설계 변수에 따른 Cu–SiO2 하이브리드 본딩 단차 제어 특성 분석
저자
소홍윤
발행일
2026-04-09
학회명
대한기계학회 신뢰성부문 20주년 기념 학술대회
개최지
롯데호텔 제주

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