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Cyclic-CVD법으로 증착된 TiN박막의 특성연구

  • 전형탁
제목
Cyclic-CVD법으로 증착된 TiN박막의 특성연구
저자
전형탁
발행일
1999-02-01
학회명
한국반도체 학술대회

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