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원자층증착법을 이용한 Y2O3 박막 형성 및 저항 스위칭 특성

제목
원자층증착법을 이용한 Y2O3 박막 형성 및 저항 스위칭 특성
저자
안진호
발행일
2013-08-22
학회명
제45회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
한국 여수

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