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Ozone Based ALD SiO2 Deposition and Post-annealing Process Compatibility for IGZO Channel Field Effect Transistor
- 제목
- Ozone Based ALD SiO2 Deposition and Post-annealing Process Compatibility for IGZO Channel Field Effect Transistor
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2023-11-22
- 학회명
- KISM 2023
- 개최지
- 부산 해운대