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원거리 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 탄소 함유 실리콘 기반 저 유전율 물질의 특성

  • 전형탁
제목
원거리 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 탄소 함유 실리콘 기반 저 유전율 물질의 특성
저자
전형탁
발행일
2019-05-09
학회명
2019년 춘계학술대회 반도체&디스플레이산업 지속 성장을 위한 기술혁신 전략
개최지
제주대학교 아라컨벤션홀

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