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Two-step rapid thermal annealing(RTA)기법으로 제작된 다결정 실리콘 박막의 구조적 전기적 특성연구

제목
Two-step rapid thermal annealing(RTA)기법으로 제작된 다결정 실리콘 박막의 구조적 전기적 특성연구
저자
홍진표
발행일
1998-10-01
학회명
한국물리학회 학술발표회
개최지
전북대학교

ScholarWorks@한양대학교

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