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SiC/C 증착분율비 조절에 의한 증착층 변화

  • 이성철
제목
SiC/C 증착분율비 조절에 의한 증착층 변화
저자
이성철
발행일
1997-10-01
학회명
한국요업학회 추계학술대회

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