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CVD공정에서 반응로 내 온도구배 설정을 통한 Ti기판에서의 CNT 성장 거동 관찰

  • 김영도
제목
CVD공정에서 반응로 내 온도구배 설정을 통한 Ti기판에서의 CNT 성장 거동 관찰
저자
김영도
발행일
2014-11-13
학회명
2014년도 추계학술대회
개최지
여수 디오션리조트

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