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저지구온난화지수를 가진 CF3I를 이용한 SiO2의 Atomic layer etching

제목
저지구온난화지수를 가진 CF3I를 이용한 SiO2의 Atomic layer etching
저자
안진호
발행일
2020-02-13
학회명
2020 반도체학술대회
개최지
강원도 하이원리조트

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