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sputtering을 이용해 점진적 분포의 GDC/YSZ/GDC전해질 층 증착을 통한 박막 박리현상 억제

제목
sputtering을 이용해 점진적 분포의 GDC/YSZ/GDC전해질 층 증착을 통한 박막 박리현상 억제
저자
김영범
발행일
2022-05-12
학회명
한국정밀공학회 2022 춘계학술대회

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