광증폭기 응용을 위한 Er3+첨가 실리카 박막의 제조

초록

집적형 광증폭기는 대량생산이 용이하고, 단일칩에 다기능의 광소자를 집적할 수 있다는 장점 때문에 활발히 연구되어져 왔다. 본 연구에서는 수동형 집적광소자의 제작에 사용되는 화염가수분해 증착법을 이용하여 실리콘(Si)/실리카(SiO2) 광도파막을 제작하고, 이 박막에 Solution Doping 법을 이용하여 Er3+를 첨가하여 광증폭 매질을 제작하는 연구를 수행하였다. Solution Doping법을 통하여 Er3+를 첨가하는 최적의 공정을 찾아내고 첨가된 Er3+의 양을 ICP-MASS, EDS를 이용하여 측정하였다. 또 Er3+이 첨가된 Soot를 광학적 등급의 박막으로 치밀화하기 위하여 치밀화 공정 조건에 따른 박막의 재료적 변화에 대하여 관찰하였다.