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삽입 gate 구조를 가지는 finFET 소자의 fin의 변화에 따른 전기적 특성

  • 김태환
제목
삽입 gate 구조를 가지는 finFET 소자의 fin의 변화에 따른 전기적 특성
저자
김태환
발행일
2018-02-08
학회명
제54회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
웰리힐리파크(강원도횡성)

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