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Ion beam etching of sub-30nm scale perpendicular-MTJ for reducing by-product and damage of sidewall
- 제목
- Ion beam etching of sub-30nm scale perpendicular-MTJ for reducing by-product and damage of sidewall
- 저자
- 이승백
- 발행일
- 2012-02-05
- 학회명
- 제 19회 반도체 학술대회
- 개최지
- 고려대학교, 서울