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Initial oxidation process on vicinal Si(0010) surface: ReaxFF based on molecular dynamics simulation
- 제목
- Initial oxidation process on vicinal Si(0010) surface: ReaxFF based on molecular dynamics simulation
- 저자
- 정용재
- 발행일
- 2011-02-10
- 학회명
- 한국진공학회 동계 정기학술대회
- 개최지
- 평창