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Enhancing TCO Performance via Precursor-Controlled Crystallization in Low-Resistivity PEALD In₂O₃ Films
- 제목
- Enhancing TCO Performance via Precursor-Controlled Crystallization in Low-Resistivity PEALD In₂O₃ Films
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2025-06-04
- 학회명
- IEEE IITC 2025
- 개최지
- 부산 웨스틴조선호텔