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Electrical and structural properties of AlOx/HfO2 gate oxide stacks prepared by alternatively mixed sputtering process
초록
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- 제목
- Electrical and structural properties of AlOx/HfO2 gate oxide stacks prepared by alternatively mixed sputtering process
- 저자
- 홍진표
- 발행일
- 2004-10-24
- 학회명
- 한국물리학회 학술대회
- 개최지
- 제주도