초청정 Si 기판위에 동시증착한 TiSi2의상전이와 계면 및 표면형성에 관한 연구

  • 전형탁
제목
초청정 Si 기판위에 동시증착한 TiSi2의상전이와 계면 및 표면형성에 관한 연구
저자
전형탁
발행일
1993-05-01