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Plasma-Assisted MLD of Thermally Stable Low-k SiONC Thin Films with Tetra- isocyanate-silane and Phloroglucinol
- 제목
- Plasma-Assisted MLD of Thermally Stable Low-k SiONC Thin Films with Tetra- isocyanate-silane and Phloroglucinol
- 저자
- 박진성
- 발행일
- 2025-11-11
- 학회명
- KSIM2025
- 개최지
- 부산 파라다이스 호텔