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FinFET 소자의 fin의 형태 변화에 따른 전기적 특성

  • 김태환
제목
FinFET 소자의 fin의 형태 변화에 따른 전기적 특성
저자
김태환
발행일
2013-02-19
학회명
제 44회 한국진공학회
개최지
보광휘닉스파크 (강원도 평창)

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