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A Study on the Etching Process Conditions for Improving Vertical Profile of 3-D NAND Flash Channel Hole
- 제목
- A Study on the Etching Process Conditions for Improving Vertical Profile of 3-D NAND Flash Channel Hole
- 저자
- 송윤흡
- 발행일
- 2020-08-19
- 학회명
- 대한전자공학회 하계학술대회
- 개최지
- 제주롯데호텔