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CZ 실리콘에서 산소석출현상에 대한 모델링 및 시뮬레이션

  • 박재근
제목
CZ 실리콘에서 산소석출현상에 대한 모델링 및 시뮬레이션
저자
박재근
발행일
1999-11-01
학회명
한국재료학회,1999년 추계학술 발표

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