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UV/Ozone 및 Thermal 동시 처리를 통한 In-Sn-Ga-O 박막 트랜지스터 특성 향상

제목
UV/Ozone 및 Thermal 동시 처리를 통한 In-Sn-Ga-O 박막 트랜지스터 특성 향상
저자
박진성
발행일
2016-05-19
학회명
2016년도 한국재료학회 춘계학술대회
개최지
여수 디오션 리조트

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