N타입 결정질 실리콘 웨이퍼의 두께 및 알루미늄 페이스트 도포량에 따른 웨이퍼 Bowing 및 Al-doped p+ emitter 거동 분석

  • 김영도
제목
N타입 결정질 실리콘 웨이퍼의 두께 및 알루미늄 페이스트 도포량에 따른 웨이퍼 Bowing 및 Al-doped p+ emitter 거동 분석
저자
김영도
발행일
2014-05-15
학회명
2014년도 한국재료학회 춘계학술대회
개최지
창원 컨벤션센터