염소 플라즈마를 이용한 탄탈륨 미세패턴 식각 특성

초록

본 연구에서는 ECR plasma의 특성을 이용하여 식각을 진행하여 공정조건을 마련해 나갔고, OES를 이용한 Ar actinometry를 바탕으로 플라즈마 진단을 수행했으며, SEM을 이용하여 Ta식각 특성을 분석하였다.