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Design of Oxygen Precipitate Formation in 300mm Silicon Wafer Using NH3/Ar Rapid Thermal Annealing

  • 박재근
제목
Design of Oxygen Precipitate Formation in 300mm Silicon Wafer Using NH3/Ar Rapid Thermal Annealing
저자
박재근
발행일
2004-02-19
학회명
한국 반도체 학술 대회
개최지
무주리조트 호텔티롤

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