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선택적 에칭 및 HR-XRD를 통한 InGaAs/ InP Photodiode 계면분석

  • 김은규
제목
선택적 에칭 및 HR-XRD를 통한 InGaAs/ InP Photodiode 계면분석
저자
김은규
발행일
2019-02-20
학회명
제56회 한국진공학회 동계정기학술대회
개최지
홍천 대명비발디파크

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