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원거리 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 저유전율 탄소함유 실리콘 산화막의 특성

  • 전형탁
제목
원거리 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 저유전율 탄소함유 실리콘 산화막의 특성
저자
전형탁
발행일
2018-11-22
학회명
2018년 추계학술대회 인공 지능 시대의 반도체/디스플레이 기술
개최지
연세대학교 공학원

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