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강유전체 하부전극용 Pt/Ru/Ti, Ru/Pt/Ti박막의 접착력 평가

  • 김영호
제목
강유전체 하부전극용 Pt/Ru/Ti, Ru/Pt/Ti박막의 접착력 평가
저자
김영호
발행일
1998-05-01
학회명
98 한국재료학회춘계학술발표회 초록집

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